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      芯明天直驱机构式压电扫描台 P77压电扫描台为一维Z轴运动平台,压电平台中心为106mm大通光孔,压电陶瓷直驱机构,内置高性能压电陶瓷,可以实现Z 轴20μm的位移行程,无摩擦柔性导向机构具有超高的分辨率,闭环版本定位精度可达纳米级,是光学移相器的选择。《查看更多》
      直驱机构式压电扫描台 N63压电扫描台为二维XY轴扫描平台,一体式结构设计原理,压电陶瓷直驱机构,可实现8μm的扫描范围,台体高度仅为17mm,闭环版本具有超高的定位精度,适用于显微扫描等应用。《查看更多》
      N65XY芯明天直驱机构式压电扫描台,一体式结构设计原理,压电陶瓷直驱机构,可实现8μm的扫描范围,台体高度仅为17mm,闭环版本具有超高的定位精度,适用于显微扫描等应用。《查看更多》
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