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      P83.X一维X向压电宏微复合台 P83为标准测微头与可产生高分辨率位移的压电陶瓷机构相结合,通过手动调节大范围的测微头实现13mm大范围的移动,再通过控制驱动电压,使压电陶瓷机构相应伸长或缩短到预定位置,从而实现对压电陶瓷驱动测微头高分辨率的精调节。《查看更多》
      P84.X一维X轴压电宏微复合台: P84为标准测微头与可产生高分辨率位移的压电陶瓷机构相结合,通过手动调节大范围的测微头实现13mm大范围的移动,再通过控制驱动电压,使压电陶瓷机构相应伸长或缩短到预定位置,从而实现对压电陶瓷驱动测微头高分辨率的精调节。《查看更多》
      压电平台是采用压电陶瓷驱动的纳米定位台,无摩擦、无空回柔性导向机构,有限元分析优化柔性铰链机构,柔性导向系统具有超高的导向精度,高刚度,高负载,无磨损,免维护的特点,内置精密位移传感器进行全闭环反馈,确保了平台具有良好的控制精度、定位精度、分辨率和稳定性,响应速度快,稳定时间达毫秒量级,平台无磁性也不受磁场干扰。XP-630,采用压电陶瓷直驱结构,无摩擦柔性铰链机构设计的一维压《查看更多》
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