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      芯明天压电偏摆台的优势与选型

      芯明天软件控制压电控制器是指通过上位机软件控制,具有功率放大功能,且输出电压、输出频率可调,具有操作方便、数据精准、软件支持二次开发等优点。用于驱动控制压电纳米定位产品,如压电促动器、压电纳米定位台、压电物镜定位器、压电偏转镜、压电偏摆台等。

      激光束偏转及其扫描在半导体加工、军事探测、航空航天、生物医学、纳米科学研究等领域得到了越来越多的应用,同时对其性能要求也越来越高,受其体积,扫描频率,扫描精度,扫描分辨率等诸多因素的制约。通过我公司压电快速偏摆台可**的解决以上问题。

      基于压电陶瓷驱动器的快速偏摆台具有很高的谐振频率,扫描角度小、分辨率高、线性度好,一般应用于自适应光学、光束跟踪和稳定等需要快速响应和小角度偏转的领域。

      压电偏摆台具有更快的加速度和更高的带宽,具有零摩擦和零粘力的铰链导向,并且导向精确性优良,采用传感器的闭环系统,具有很高的精确度。  

      压电偏摆台采用压电陶瓷驱动器直接驱动,多用于图象处理/稳定、激光扫描、通信、光线偏转、光束偏转/稳定等系统。

      哈尔滨芯明天科技有限公司提供的压电陶瓷偏摆台具有体积小、位移分辨率高、频响高、无噪声、不发热等特点。且已经过多家科研院所测试,验证了压电偏转台分辩率高,重复定位精度高,在要求偏转角度为mrad量级、分辨率要求μrad量级的激光扫描系统中表现出很好的特性。

      压电偏摆台型号选择请参考下表

      型号

      角度范围

      分辨率

      S50.U0C/K

      θx

      0.19mrad(≈39秒)

      -

      S50.U0C/K-D1

      θx

      0.5mrad(≈100秒)

      0.01μrad(<0.01秒)

      S50.UR1S/K

      θx、θz

      1.3mrad(≈268秒)/轴

      0.03μrad(<0.01秒)

      S51.ZT1S/K

      θx、θy、Z

      ±1.1mrad(≈±220 秒)/轴

      100μm

      0.05μrad(≈0.01 秒)

      4nm

      S51.ZT1S/K-C1

      θx、θy、Z

      ±1.1mrad(≈±220秒)/轴

      110mrad

      0.05μrad(≈0.01 秒)

      4nm

      S54

      θx、θy

      ±1mrad(≈±200秒)/轴

      0.05μrad(≈0.01秒)

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